特殊処理
耐オゾン皮膜『オゾンプルーフ』

耐オゾン皮膜『オゾンプール』の詳細
耐オゾン皮膜『オゾンプルーフ』は真空チャンバーへの表面処理として誕生しました。
真空チャンバーにて半導体を製造する場合、UV(紫外線)を照射しながら湿り気のCDA(不活性ガス)を流すのでオゾンガスと紫外線が発生し続けます。
真空チャンバーにはアルミニウムが使用されます。アルミニウムは比較的オゾンに強い材料ですので短期間のオゾン曝露では顕著な侵食は起こりませんが、半導体製造装置は金属腐食などによるコンタミを嫌いますので、オゾンガスや紫外線から守る必要があります。
このような環境に耐える処理の開発が急務であったため、耐オゾン皮膜『オゾンプルーフ』を開発しました。
オゾンプルーフは弊社オリジナルの皮膜になります。
真空チャンバーとは
真空チャンバーは、内部を真空にするための容器です。
半導体のような高密度・高集積な製造では高真空中で表面清浄を行う必要があり、より精密で不純物を取り除いた高精度の真空チャンバーが求められます。
耐オゾン皮膜『オゾンプルーフ』の特徴
- アルミニウム(A5052やA7075など)に対応可能。
- 耐オゾン性(O3)に優れる。
- 耐紫外線性(UV)に優れる。
- 耐加水分解性に優れる。
- 高濃度オゾン・半導体・液晶産業の使用に最適
- RoHS指令に抵触しない。
半導体製造装置向け
オゾンプルーフ処理+精密洗浄(クリーンルームクラス1000)から梱包まで対応可能です。
オゾンの特性
オゾンは強い強酸力を持っており、塩素の約7倍です。この強力な酸化作用は、殺菌・脱臭・漂白などに利用されています。
オゾン水は酸化力の強いOHラジカルが生成されます。OHラジカルは電子が不足した不安定な状態であるため、自身が安定するために近くの有機物から電子を奪い取ります。また、反応性が高く、強力な酸化力を持っているため有害物質の分解や殺菌、消毒、漂白に寄与します。空気洗浄の場合も湿度が高い方が殺菌の効果が高くなりますが、OHラジカルが生成されやすいためと考えられます。
よくある質問
ただし、SCM440素材には直接パラジウムメッキを施すことができないため、まず下地処理として電解ニッケルメッキまたは無電解ニッケルメッキを必ず施す必要があります。これにより、パラジウムメッキの密着性や耐食性を確保し、高品質な表面処理を実現しています。
当社は金属加工および精密金属加工の専門メーカーとして、お客様の製品性能向上や付加価値創出を目指した最適なめっき処理をご提案いたします。ご希望の仕様や用途に合わせた詳しいご相談も承っておりますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。
実績として最大4μmまでの処理が可能であり、精密な厚み管理と高い品質を維持しながら、耐食性や機能性の向上を実現いたします。
当社はめっき処理を通じて製品の付加価値を高めることを理念としており、お客様のニーズに合わせた最適な表面処理を提供しております。純粋なパラジウムメッキをご希望の場合もぜひご相談ください。
お客様のご要望に応じて精密な部分めっきを実現するため、形状や加工対象の詳細がわかる図面をご提出いただければ、加工の可否を丁寧に確認させていただきます。
弊社は金属加工・精密金属加工メーカーとして、高い技術力と経験を活かし、機能性や耐食性の向上、環境配慮を考慮しためっき処理によって付加価値の高い製品づくりをサポートいたしますので、部分的なメッキ加工も安心してお任せください。
具体的には、製品の状態により異なりますが、現状の金メッキの上から直接パラジウムメッキを施することもできますし、必要に応じて金メッキを除去した後にパラジウムメッキへ再処理を行うことも可能です。
当社はめっき処理を通じて機能性や耐食性の向上、付加価値の付与を実現しており、お客様のニーズに合わせた最適な表面処理をご提案いたします。お困りの際はお気軽にご相談ください。
ただし、サイズや形状に制限がございますので、具体的な製品の形状、サイズ、数量をお知らせいただく必要があります。
当社は金属加工および精密金属加工の専門メーカーとして、めっき処理を通じて耐食性や機能性の向上、付加価値の提供を目指しており、お客様のニーズに応じた最適な表面処理ソリューションを提案いたします。製品の詳細情報をいただければ、最適な対応方法や加工可否について丁寧にご案内いたします。




